產品信息
- 半導體制造工廠使用的搬送系統
- OHT (空中走行式無人搬送車)
- OHS (空中走行式穿梭車)
- AGV (無人搬送車)
- 存儲庫
- 搬送控制/管理系統(MCS)
- 無塵自動化
- 產品信息
- 半導體制造工廠使用的搬送系統
- OHS (空中走行式穿梭車)
半導體制造工廠使用的搬送系統
OHS (空中走行式穿梭車)
一種自動化搬送裝置，可在空中高架軌道上行駛從而帶動載體。 “OHS”是Over Head Shuttle的簡稱。其主要用于在指定的保管設備（例如負責成膜和沖洗的工序區的存儲庫）之間搬送載體，其也稱為“工序區間搬送系統”。
